溫區: 單溫區電爐
溫度: 室溫-1100℃ 室溫-1400℃
GSL-1200X雙溫區管式電爐是一個特殊的雙管CVD系統,專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究，通過滑動爐子實現快速加熱和冷卻。
特點:
1.雙石英管：外管直徑100mm ，懸掛的內管直徑 80. 金屬箔纏繞在內管的外表面上發生CVD反應。
2.雙管的真空密封法蘭：允許反應氣體通過兩管之間（10mm間隙）發生反應，冷卻氣體直接通入內管.
3.四通道質量流量計控制4路氣體。
4.配有KF25快接和波紋管的高速機械泵。
5.爐子底部裝有滑軌：爐子可以從一端滑向另一端，從而實現快速升溫和降溫.
技術參數
爐體結構
高純 Al2O3保溫材料，保證了爐膛有極好的溫度均勻性.
內爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
爐子底部的冷卻風扇保證了熱量正常對外釋放.
密封法蘭系統全不銹鋼制作。
電源 電源:208-240VAC, 50/60Hz, 單相, 2.5KW ( 20A 保險絲)
加熱溫度
最高溫度: 1100°C
連續溫度: 1000°C
加熱區
加熱區長度: 440mm
恒溫區長度: 120mm (±1°C) @400~1100°C
選擇:
雙溫區爐可獲得t 240mm 的恒溫區
加熱和冷卻速度 最快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關，
( 在使用爐子之前，要校準工作溫度和加熱、冷卻速度 )
加熱 冷卻
石英管 外管: OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length (OD100 x ID 96 x 1400, mm )
內管: OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length (OD80 x ID 75 x 1800 mm )
真空法蘭
一對 SS304不銹鋼法蘭，通過用兩個高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。
爐子底部裝有一對滑軌
爐子可以手動從一端滑向另一端，實現快速的加熱和冷卻。
為了得到較快的加熱速度，可以先將爐子預熱，然后滑到放置樣品的位置。
為了獲得較快的冷卻的速度，把爐子滑向另一端，同時將冷卻氣體通入 樣品所在的位置。
極限真空度: 10^-2 torr (機械泵) 10^-5 torr (分子泵)
可選鄭州科晶公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。
溫控儀 溫控儀:帶超溫保護和PID調節的 30 段程序控制。
控溫精度: +/-1°C
混氣系統 4路精密質子流量計：數字顯示、氣體流量自動控制.
MFC 1范圍: 0~100 sccm
MFC 2范圍: 0~200 sccm
MFC 3范圍: 0~200 sccm
MFC 4范圍: 0~500 sccm
氣路: 4 路
流量精度: 0.2%
進氣和出氣接口: 1/4" 卡套
一個混氣罐.
每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。
通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量
真空泵安裝在移動架底部的機械泵，真空度達 10-3 Torr.
真空泵與手動擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 .
數字真空表安裝在一端的法蘭上.
選擇: 可以配分子泵，真空度達 10-5 Torr
尺寸（mm) 爐體: 550 x 380 x 520
移動架: 600x600x597
凈重 300 lb
保修期 一年質保期 (耗材：如爐管，“O”型圈，和加熱元件等不在保修范圍內）
質量認證：
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